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射频探针台
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产品概览
PRODUCT OVERVIEW
射频探针台
射频探针台面向微波器件、微波集成电路芯片及相关科研测试场景的高精度测试平台，支持 8 英寸以内样品，面向微波器件、微波集成电路芯片及相关科研测试场景的高精度测试平台，支持 8 英寸以内样品，射频测试频率最高可达 110 GHz，可与矢量网络分析仪、功率计、频谱分析仪等联合构建完整测试方案。
产品型号
YB-RF系列
所属分类
射频探针台
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详细介绍
PRODUCT DETAILS
射频探针台
RF PROBE STATION
射频探针台
面向微波器件、微波集成电路芯片及相关科研测试场景的高精度测试平台，支持
8 英寸以内样品
，射频测试频率最高可达
110 GHz
，可与矢量网络分析仪、功率计、频谱分析仪等联合构建完整测试方案。
S 参数 / 阻抗参数测试
多型号台体尺寸可选
常温 / 高低温 / 真空扩展
MAX RF
110
GHz
WAFER SIZE
8
inch
ROTATION
360°
射频探针台
测试对象
射频芯片、微波器件
平台组合
可联用网分、阻抗分析仪等
显微观察
16×–200× / 20×–4000×
探针频率
DC–40 / 50 / 67 / 110 GHz
PRODUCT OVERVIEW
精密射频测试平台的核心能力
本页面以单产品介绍为目标，对射频探针台的整机规格、显微系统、探针座、射频探针、校准能力与典型扩展方案进行浓缩呈现，便于直接用于产品详情页或独立落地页。
01
平台级兼容
支持 4 / 6 / 8 英寸台体规格，兼容不同探针座数量与测试附件配置，适用于研发、失效分析及实验室综合测试场景。
02
显微精准对准
可选单筒、体式或金相显微镜，配合 LED 环形光源 / 同轴光源与高像素 CCD，便于细小焊盘与引脚精确定位。
03
高频测试扩展
支持 GS / GSG / 差分等探针类型与多种引脚间距，最高支持 110 GHz 高频测试，并可扩展太赫兹波导方向方案。
MODEL SELECTION
台体规格
按样品尺寸与探针座数量需求，可配置 4 英寸、6 英寸与 8 英寸射频探针台平台。
型号
MP-400
4 英寸台体
X-Y 行程 4" × 4"
最多放置 4 个探针座
型号
MP-600
6 英寸台体
X-Y 行程 6" × 6"
最多放置 6 个探针座
型号
MP-800
8 英寸台体
X-Y 行程 8" × 8"
最多放置 8 个探针座
KEY PARAMETERS
核心技术参数
水平旋转
360° 旋转，微调 15°，精度 0.1°
X-Y 移动精度
5 μm / 1 μm
样品固定
真空吸附，中心吸附孔，多圈吸附环
背电极测试
样品台电学独立悬空，支持背电极连接
显微镜移动
X-Y 2" × 2" / Z 50.8 mm
CCD
1200 万像素 / 4K 可选
RF PROBE HOLDER
射频探针座
X-Y-Z 行程 12 mm × 12 mm × 12 mm，移动精度 0.7 μm，探针水平角度可调 ±10°，支持磁力吸附 / 螺纹固定。
RF PROBE
射频探针与校准
支持 GS / GSG / 差分引脚类型，引脚间距 50–2540 μm；校准片支持 SOLT，频率范围 DC–110 GHz，引脚间距覆盖 45–1325 μm。
MICROSCOPE & TESTING
显微观察与测试链路
通过显微定位、精密探针调节、射频链路连接与标准校准流程，实现从样品接触、参数扫描到数据分析的连续测试闭环。
显微镜类型：单筒显微镜 / 体式显微镜 / 金相显微镜
光源：外置 LED 环形光源 / 同轴光源
配合仪器：阻抗分析仪、矢量网络分析仪等
APPLICATION SOLUTIONS
典型方案扩展
常温射频方案
适用于常规射频器件与芯片测试，可搭载现有品牌网分设备，支持 DC + RF 多探针联合测试。
高低温腔室方案
温控范围可覆盖 -55 ℃ 至 200 ℃，采用液氮制冷，适合开展非真空高低温射频测试与器件评估。
高低温真空方案
支持 4 K / 77 K–500 K 范围，兼顾制冷机 / 液氮真空环境，为极端条件器件测试预留扩展能力。
太赫兹波导方案
可定制波导针座，并配合扩频模块完成 110 GHz 以上更高频段方向的测试探索。
ACCESSORIES & OPTIONS
可选附件与定制方向
平台支持多类附件组合，满足更复杂的电学、射频、光电及环境控制需求。
加热台
屏蔽箱
高压测试配件
光学平台
显微镜快速倾仰装置
激光系统
直流测试配件
光电测试配件
探针卡夹具
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