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产品概览 PRODUCT OVERVIEW

常规探针台

南京盈波光电 YB-PS 系列常规探针台,专为晶圆、芯片及薄膜器件的电学测试设计。系统可选 4/6/8 英寸真空吸附样品台,支持 360 旋转与显微精准落针定位。兼容 I-V、C-V 表征及低至 10fA 的低漏电测试需求,广泛应用于高校科研、芯片失效分析与半导体器件验证。欢迎咨询参数与选型配置!
产品型号 YB-PS系列
所属分类 常规探针台
详细介绍 PRODUCT DETAILS
常规探针台|晶圆芯片电学测试平台
Manual Probe Station · Electrical Test Platform

常规探针台

面向晶圆、芯片、薄膜器件与材料样品的基础电学测试平台。通过显微观察、精密位移、稳定落针与可扩展电学接口,建立适用于 I-V、C-V、漏电、电阻、电容及器件失效分析的标准测试环境。

4 / 6 / 8 英寸平台可选            360° 样品台旋转            10fA 低漏电配置可选

8英寸探针台-主图.PNG

精密落针              稳定接触
4 / 6 / 8
英寸样品平台可选
360°
旋转调节与角度锁止
12mm
探针座 XYZ 行程
10fA
低漏电测试可选
Precision Manual Platform

以“看清、移准、落稳、测准”为核心

常规探针台并不是简单的显微支架,而是将显微观察、机械定位、探针接触和电学接口统一到同一平台。对于需要频繁换样、快速验证器件和建立标准测试工位的实验室,常规探针台是最基础、也最通用的入口设备。

01 / 显微观察
清晰识别电极与焊盘
支持单筒、体式或金相显微镜,可配 LED 环形光源、同轴光源及 CCD/4K 成像。
02 / 精密定位
样品移动与角度校正
样品台支持 X-Y 平移和 360° 旋转,便于器件定位、阵列测试和多点测量。
03 / 稳定落针
XYZ 微调探针座
探针座具备微米级调节能力,兼容弹簧夹具、管状夹具及不同电学接口。
04 / 稳定测量
I-V / C-V / 漏电测试
可连接源表、LCR、半导体参数分析仪等设备,形成标准电学测试工位。
Image Modules

产品图片展示


整机图
IMAGE 01

整机展示

落针区域图
IMAGE 02

显微观察与落针区域

探针座细节图
IMAGE 03

探针座细节

Application Scenarios

典型应用场景

高校与科研院所
用于新型器件、电学特性、材料导电行为与工艺验证研究。
芯片失效分析
适用于焊盘接触、局部参数测量、工艺窗口评估及失效定位辅助分析。
器件筛选与样品验证
适合样品来料测试、器件一致性对比及批量前期验证。
应用场景图预留位
建议尺寸 1200×760 或 16:9
System Composition

系统组成

聚焦常规探针台本体,不展开高低温、真空、磁场和射频专用系统。

01

样品台 / 卡盘

支持 4 英寸、6 英寸、8 英寸规格,真空吸附固定,带中心吸附孔与多圈吸附环。

02

旋转与平移机构

支持 360° 旋转和角度微调,不同机型可选 50mm、100mm 或更大 X-Y 行程。

03

显微镜与照明

可选单筒、体式或金相显微镜,并支持 LED 环形光源、同轴光源和 CCD/4K 成像。

04

探针座与夹具

探针座具备 XYZ 微调行程,兼容弹簧式、管状式夹具和多种电连接接口。

Model Overview

典型机型参数概览

型号名称可根据公司命名体系替换;下表保留常规 4 寸、6 寸、8 寸机型逻辑。

项目MP-400MPN-600MPN-800
样品台尺寸4 英寸 / 6 英寸6 英寸 / 8 英寸6 英寸 / 8 英寸 / 12 英寸
水平旋转360° 旋转,带微调与锁死360° 旋转,带微调与锁死360° 旋转,带微调与锁死
X-Y 行程50 mm / 100 mm6 英寸 × 6 英寸200 mm
X-Y 移动精度5 μm5 μm5 μm
样品固定真空吸附真空吸附真空吸附
针座平台U 型平台,最多可放 10 个探针座U 型平台,最多可放 10 个探针座U 型平台,最多可放 10 个探针座
显微镜配置单筒 / 体式 / 金相单筒 / 体式 / 金相单筒 / 体式 / 金相
放大倍率16X–200X / 20X–4000X16X–400X / 20X–4000X16X–200X / 20X–4000X
CCD 选配200 万 / 800 万 / 4K200 万 / 800 万 / 4K200 万 / 800 万 / 4K
探针座 XYZ 行程12 mm × 12 mm × 12 mm12 mm × 12 mm × 12 mm12 mm × 12 mm × 12 mm
探针座移动精度10 μm / 2 μm / 0.7 μm / 0.5 μm10 μm / 2 μm / 0.7 μm / 0.5 μm10 μm / 2 μm / 0.7 μm / 0.5 μm
漏电精度10 pA / 100 fA / 10 fA10 pA / 100 fA / 10 fA10 pA / 100 fA / 10 fA
Testing Workflow

从样品定位到稳定测试

常规探针台的价值,不只在于“能测”,更在于为器件测试建立稳定、清晰、灵活的基础测试平台。

STEP 01
样品固定
真空吸附固定晶圆、芯片或器件样品
STEP 02
显微定位
通过显微镜和 CCD 找到焊盘或目标区域
STEP 03
探针落针
通过 XYZ 微调实现稳定接触
STEP 04
电学测试
连接源表、LCR、半导体参数分析仪等设备
常规探针台|晶圆芯片电学测试平台
显微观察 · 精密移动 · 稳定落针 · 低漏电测试 · I-V / C-V 器件表征
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