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面向晶圆、芯片、薄膜器件与材料样品的基础电学测试平台。通过显微观察、精密位移、稳定落针与可扩展电学接口,建立适用于 I-V、C-V、漏电、电阻、电容及器件失效分析的标准测试环境。
常规探针台并不是简单的显微支架,而是将显微观察、机械定位、探针接触和电学接口统一到同一平台。对于需要频繁换样、快速验证器件和建立标准测试工位的实验室,常规探针台是最基础、也最通用的入口设备。
聚焦常规探针台本体,不展开高低温、真空、磁场和射频专用系统。
支持 4 英寸、6 英寸、8 英寸规格,真空吸附固定,带中心吸附孔与多圈吸附环。
支持 360° 旋转和角度微调,不同机型可选 50mm、100mm 或更大 X-Y 行程。
可选单筒、体式或金相显微镜,并支持 LED 环形光源、同轴光源和 CCD/4K 成像。
探针座具备 XYZ 微调行程,兼容弹簧式、管状式夹具和多种电连接接口。
型号名称可根据公司命名体系替换;下表保留常规 4 寸、6 寸、8 寸机型逻辑。
常规探针台的价值,不只在于“能测”,更在于为器件测试建立稳定、清晰、灵活的基础测试平台。