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整机外观
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显微观察与样品台
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谱图与 Mapping 结果
System Overview
系统定位
显微拉曼光谱系统的核心价值，在于将“显微级定位能力”与“分子振动指纹识别能力”结合起来。它不仅能在微小区域内观察样品，还能通过拉曼位移信息分析样品的化学键、晶格振动、应力状态、缺陷特征与物相差异。
对于薄膜检测、晶体材料分析、二维材料研究、微区成分识别、工艺验证与失效分析实验室而言，该系统兼顾空间分辨率、光谱信息量与数据可追溯性。
Performance Highlights
产品要点
高稳定性平台
预热 15 分钟后，激光器稳定性可达 >99.9%，光谱仪稳定性可达 >99.99%，整机稳定性大于 99%。
显微测量能力
支持 5×、20×、50×、100× 物镜配置，典型光斑约 5 μm。
拉曼 Mapping 扩展
可配合电动平台实现拉曼 Mapping 成像，平台精度 1 μm，重复定位精度 1 μm。
分析软件配套
支持单次采集、周期采集、批量采集、airPLS 去基线、数据库比对与自动物质识别等功能。
Core Configuration
核心配置与技术参数
Configuration Summary
Laser
532 nm / 785 nm
532 nm 方案激光功率 100 mW，可选 200 mW；785 nm 方案激光功率 600 mW。
Shift Range
200–3200 cm⁻¹
785 nm 对应 200–2800 cm⁻¹，532 nm 对应 200–3200 cm⁻¹。
Resolution
7 cm⁻¹ / 0.4 nm
最小拉曼位移分辨率 7 cm⁻¹，FWHM 分辨率 0.4 nm。
Detector
滨松 CMOS 2048
系统基于滨松 11639 CMOS 探测器，兼顾灵敏度、稳定性与成本效率。
Application
典型应用方向
二维材料表征 半导体工艺验证 微区成分识别 薄膜与晶体分析 缺陷与应力分析 拉曼 Mapping 成像
显微拉曼常用于判断样品的分子结构、结晶状态、峰位漂移与杂质信息；也可结合显微定位与面扫描，对不同区域进行结构对比与均匀性分析。
Workflow
测试流程
1
显微观察并定位目标区域，完成焦点与测点确认。
2
选择激光波长、积分时间、狭缝与物镜参数，开始拉曼采集。
3
对谱线进行比对、去基线、数据库识别或多点数据对比分析。
4
调用电动平台进行 Mapping 扫描，输出二维分布结果。
Conclusion
为什么实验室会持续选择显微拉曼平台
原因并不只在于它能够“测到谱”，更在于它将微区定位、激光激发、拉曼识别、自动扫描与软件分析整合为一套连续工作流。
Reference Snapshot
检测器滨松 11639 CMOS
物镜5× / 20× / 50× / 100×
积分时间1 ms – 65 s
信噪比600:1