PRODUCT CENTER

产品展示

Product show

产品概览 PRODUCT OVERVIEW

高低温非真空探针台

盈波光电面向器件、晶圆与材料样品的变温电学测试平台。在非真空环境下,将样品温控、显微观察、精密落针与电学接口整合在同一工作站中,适合开展常规低温—高温条件下的电学验证、材料表征与器件性能测试。
产品型号 YB-HTN系列
所属分类 高低温非真空探针台
详细介绍 PRODUCT DETAILS
高低温非真空探针台|变温电学测试平台
Temperature Probe Station · Non-vacuum

高低温非真空探针台

面向器件、晶圆与材料样品的变温电学测试平台。在非真空环境下,将样品温控、显微观察、精密落针与电学接口整合在同一工作站中,适合开展常规低温—高温条件下的电学验证、材料表征与器件性能测试。

-60℃ ~ 300℃ 温区            4 / 6 / 8 英寸样品台            8 路探针臂接口
             高低温非真空探针台
整机主图预留位
替换 img 的 src 图片地址即可
液氮制冷              显微落针              变温电学
-60℃~300℃
常规变温测试范围
4 / 6 / 8
英寸样品台规格
8 路
探针臂接口
10fA
低漏电配置可选
Product Logic

非真空方案,更适合高频变温验证

非真空探针台更强调实验便利性、显微可视化和快速测试通达性。它适合较宽温区内的温度趋势验证、材料电学响应分析、器件来料筛选和日常研发测试。

01 / 快速变温
低温到高温连续测试
适合研究温度对器件导电、漏电、阈值、电阻和接触行为的影响。
02 / 显微落针
窗口观察与稳定接触
在显微镜辅助下完成电极定位和探针接触,兼顾可视化和操作效率。
03 / 多接口扩展
兼容多类测试仪器
支持 BNC、三轴、香蕉头、鳄鱼夹、接线端子等接口形式。
04 / 使用成本友好
适合日常研发平台
相比真空方案,非真空平台更适合高频样品切换和常规验证型测试。
Image Modules

产品图片展示

观察窗口与测试腔体            观察窗口图
IMAGE 01

观察窗口与测试腔体

探针臂与落针细节            探针臂细节图
IMAGE 02

探针臂与落针细节

样品台与温控区域            温控样品台图
IMAGE 03

样品台与温控区域

Key Specifications

关键参数速览

以下参数可根据实际产品型号进一步细化,适合用于页面首屏下方快速建立参数认知。

样品台尺寸
4 / 6 / 8 英寸
观察窗口
8 英寸
探针臂接口
8 个
制冷方式
液氮
温控精度
0.1K / 0.01K / 0.001K
温度稳定性
±1K / ±0.1K / ±0.01K
显微倍率
16X-200X / 20X-4000X
探针座行程
12mm × 12mm × 12mm
Testing Workflow

常规测试流程

从样品放置、温控建立、显微定位到探针落针和电学测试,流程更适合高频变温验证与研发实验场景。

STEP 01
建立温控条件
放置样品并设定目标温度区间。
STEP 02
显微定位
通过显微镜完成器件区域观察与电极定位。
STEP 03
探针落针
调整探针臂,实现稳定接触。
STEP 04
电学测试
接入源表、参数分析仪等完成数据采集。
高低温非真空探针台|变温电学测试平台
非真空变温 · 显微落针 · 液氮制冷 · 低漏电测试 · 器件电学表征
上一篇
下一篇