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高低温真空探针台

盈波光电面向晶圆、功率器件、LED、光电样品与场效应器件测试的真空变温电学平台。通过真空腔体、温控样品台、显微观察系统与外置波纹管探针臂协同设计，可在低温防结霜、高温低氧化及高稳定接触条件下完成可靠表征。

产品型号 YB-HTV系列

所属分类 高低温真空探针台

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详细介绍 PRODUCT DETAILS

高低温真空探针台｜真空变温电学测试平台

Vacuum Probe Station · High / Low Temperature

高低温真空探针台

面向晶圆、功率器件、LED、光电样品与场效应器件测试的真空变温电学平台。通过真空腔体、温控样品台、显微观察系统与外置波纹管探针臂协同设计，可在低温防结霜、高温低氧化及高稳定接触条件下完成可靠表征。

77K–573K 温区 2 / 4 / 6 英寸样品台 10⁻⁴ Pa 真空腔体

高低温真空探针台-1.png

真空变温外置探针臂低漏电测试

77K–573K

低温至高温测试范围

10⁻⁴ Pa

真空腔体指标

4–6 路

外置探针臂接口

10fA

低漏电配置可选

Vacuum Test Logic

真空环境，解决低温结霜与高温氧化问题

在低温大气环境下，水汽容易在样品表面凝结，导致漏电增大或探针无法稳定接触；高温测试时氧化会影响晶圆电性和结构状态。真空腔体的核心价值，是为温变测试提供更可控、更可重复的环境边界。

01 / 低温防结霜

减少水汽凝结影响

保持腔体抽真空，可降低低温结霜、漏电异常和接触失败风险。

02 / 高温低氧化

降低高温氧化干扰

在 300℃、400℃ 或更高温测试时，真空环境有助于控制氧化影响。

03 / 外置波纹管探针臂

保持腔体环境下微调

温变导致相对位移时，可通过外置探针臂进行重新定位和精密落针。

04 / 多测试扩展

直流、光电、射频可扩展

可根据接口和配件组合扩展到光纤、冷源、射频或磁场等联用场景。

Image Modules

产品图片展示

真空腔体图

IMAGE 01

真空腔体与观察窗口

探针臂细节

IMAGE 02

外置波纹管探针臂

温控样品台图

IMAGE 03

温控样品台与冷源接口

Key Specifications

关键参数速览

样品台尺寸

2 / 4 / 6 英寸

观察窗口

4 / 6 英寸

探针臂接口

2–6 个

真空度

10⁻⁴ Pa / 10⁻³ Pa

制冷方式

液氮 / 液氦 / 制冷机

温度范围

77K–573K

温控精度

0.1K / 0.01K

温度稳定性

±0.1K / ±0.01K

探针臂结构

外置波纹管

探针移动行程

50mm / 25mm

探针移动精度

3μm / 1μm

漏电精度

10pA / 100fA / 10fA

Testing Workflow

真空变温测试流程

1. 腔体抽真空

抽走腔体内水汽和氧气，建立稳定测试环境。

2. 设定温控条件

选择液氮、液氦或制冷机方案，建立低温或高温条件。

3. 显微定位与落针

通过显微镜和外置探针臂完成电极定位和接触。

4. 电学与联用测试

连接源表、参数分析仪、光电或射频模块完成数据采集。

产品展示

高低温真空探针台

高低温真空探针台

真空环境，解决低温结霜与高温氧化问题

产品图片展示

真空腔体与观察窗口

外置波纹管探针臂

温控样品台与冷源接口

关键参数速览

真空变温测试流程

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