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光电测试探针台

盈波光电面向光电器件、光敏材料、LED、探测器、光电芯片与封装前样品验证的综合测试平台。系统将显微观察、精密落针、电学连接、光学激发/接收与样品对位整合到同一工作站中，适合开展光电响应、I-V、光照响应、耦合验证和器件工作曲线测试。

产品型号 YB-OPS系列

所属分类 光电测试探针台

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详细介绍 PRODUCT DETAILS

光电测试探针台｜光电耦合与电学联测平台

Opto-Electrical Probe Station · Photoelectric Test Platform

光电测试探针台

面向光电器件、光敏材料、LED、探测器、光电芯片与封装前样品验证的综合测试平台。系统将显微观察、精密落针、电学连接、光学激发/接收与样品对位整合到同一工作站中，适合开展光电响应、I-V、光照响应、耦合验证和器件工作曲线测试。

光学激发 / 接收显微观察 + 精密落针光电响应联测

光学激发显微落针光电联测

6 / 8 英寸

样品平台可选

200 mm

XY 移动行程

XYZ 12mm

探针座三向微调行程

10fA

低漏电测试配置可选

Platform Logic

把光路对准、探针接触和器件响应测试整合到同一平台

光电测试探针台不是单纯的电学平台，而是围绕光电器件研发流程，将显微观察、光学激发/接收、探针接触和电学/光学信号采集统一到同一测试工位，便于在同一视场下完成对位、落针和响应测量。

01 / 光学激发与收光

光路位置可视化调整

适合光敏材料、探测器、LED 和波导器件的光学输入/输出测试。

02 / 显微落针

电极接触状态可观察

显微镜下完成焊盘定位、探针落针和光照区域确认。

03 / 电学联测

源表与参数分析仪接入

支持 I-V、暗电流、光电流、响应度和工作曲线等测试项目。

04 / 平台扩展

按器件与流程定制

可扩展光源、光纤接口、探测器、样品夹具、显示器和防震平台。

Specifications

核心规格与配置要点

平台尺寸	6 英寸 / 8 英寸可选
样品台旋转	360° 旋转，可微调 15°，精度 0.1°，带角度锁死装置
X-Y 行程	200 mm，移动精度 5 μm
样品固定	真空吸附，中心吸附孔，多圈吸附环
显微系统	单筒显微镜 / 体式显微镜 / 金相显微镜；倍率 16X–200X / 20X–4000X
光源与成像	外置 LED 环形光源 / 同轴光源；CCD 200 万 / 800 万 / 4K 像素
探针座行程	X-Y-Z 12 mm × 12 mm × 12 mm；移动精度 10 μm / 2 μm / 0.7 μm / 0.5 μm
电学连接	同轴线 / 三轴线 / 射频线；BNC / 三轴 / 香蕉头 / 鳄鱼夹 / 接线端子
漏电精度	10 pA / 100 fA / 10 fA 可选
光电扩展	光学激发、光纤耦合、探测器、屏蔽箱、高压测试配件、光学平台等可按项目定制

Testing Workflow

光电测试流程

1. 样品固定与显微定位

固定样品并在显微视场下找到器件端口与电极区域。

2. 光路对准

调整光源、光纤、探测头或耦合位置，建立输入/输出光路。

3. 探针落针与电连接

通过探针座完成电极接触，接入源表或参数分析仪。

4. 光电响应测试

采集暗态/光照 I-V、光电流、响应曲线或器件工作状态数据。

产品展示

光电测试探针台

光电测试探针台

把光路对准、探针接触和器件响应测试整合到同一平台

核心规格与配置要点

光电测试流程

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