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面向微纳光电子器件、二维材料、半导体晶圆、光伏器件与光电传感器研究,通过激光共聚焦扫描获得样品不同位置的光电流分布、光电流谱及相关光谱信息,帮助分析电荷传输、复合过程与器件工作机制。
系统以共聚焦激光扫描为核心,集成显微镜、快速扫描模块、可调光源/单色激发、光谱仪、可见-近红外探测器、源表、锁相放大器与探针台,可实现位置分辨光电流、光电流谱、Raman、PL 等多参数联测。
系统可将光斑位置、激发波长、光电流强度与光谱响应进行关联,用于分析材料均匀性、局域缺陷、结区响应、载流子扩散长度和光电转换效率。
获得器件不同位置的光电流强度图,直观显示光响应热点、弱响应区域和边界效应。
结合可调谐光源或超连续光源,分析不同波长激发下的器件响应与能带相关特性。
可与 Raman、PL、显微光谱、探针台电学测试联动,形成材料-结构-电学综合表征。
按光源波段、显微镜接口、探针台尺寸、源表型号、锁相放大器和软件算法定制集成。
通过显微定位、激光扫描、电学同步采集、二维重建和谱图分析,快速形成器件光响应分布结果。
适用于石墨烯、二硫化钼、异质结、光电探测器、微纳沟道器件的局域光响应研究。
用于光伏器件、OLED、半导体光伏能源器件的无损检测、均匀性分析与失效定位。
用于晶圆级光电响应分布、局域缺陷、结区响应、载流子扩散长度等关键参数分析。