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产品概览 PRODUCT OVERVIEW

多功能显微荧光光谱系统

盈波光电多功能显微荧光系统集显微观察、光谱采集、光致发光 PL、显微荧光、快速成像、电致发光 EL 与变温扩展于一体,适用于半导体材料、二维材料、发光器件、量子点、钙钛矿及微区发光样品的高灵敏显微光谱测量。
产品型号 YB-MFS系列
所属分类 显微荧光光谱系统
详细介绍 PRODUCT DETAILS
多功能显微荧光系统|RX206
RX206 · Micro Fluorescence Spectroscopy

多功能显微荧光系统

集显微观察、光谱采集、光致发光 PL、显微荧光、快速成像、电致发光 EL 与变温扩展于一体,适用于半导体材料、二维材料、发光器件、量子点、钙钛矿及微区发光样品的高灵敏显微光谱测量。

150 nm–25 μm 光谱范围          PL / EL / 光调制反射          快速振镜或位移台扫描
多功能显微荧光系统
150 nm–25 μm
宽光谱测试范围,按探测器与光谱仪配置扩展
≤200 nm
高空间分辨显微测量,适合微区发光定位
10 nm
位移台扫描最小步长可选,适合精细 Mapping
320 / 550 / 1000 mm
光谱仪焦长可选,兼顾通量、分辨率与波段覆盖
System Architecture

显微、光谱、扫描、探测一体化平台

系统将显微测量与光谱测量高效率耦合,内置观察相机,可实时观察样品;激发波长可按需求配置,探测器可扩展至 PMT、CCD、EMCCD、IR MCT,覆盖从紫外、可见到近红外/红外的多类发光表征。

多波长激发
325 / 375 / 405 / 488 / 532 / 633 / 785 nm 或超连续光源
灵活光路
支持正向、侧向等多角度发光测量
扫描成像
快速振镜扫描或电动位移台 Mapping
功能扩展
EL、变温、瞬态、AFM 联用可定制
多功能显微荧光系统结构示意图
Core Functions

覆盖材料发光表征的核心需求

系统可围绕发光峰位、强度、峰宽、空间分布、温度依赖、电场激发与器件区域响应进行综合分析。

01

显微荧光光谱

在显微视场内选择微区进行荧光光谱采集,适合异质结、量子点、薄膜、晶圆微区发光分析。

02

PL Mapping 成像

通过振镜或位移台扫描获得发光强度、峰位、半峰宽等二维分布,分析材料均匀性与缺陷区域。

03

电致发光 EL

可扩展器件电致发光测试,用于 LED、OLED、半导体器件和微纳发光器件表征。

04

低温 / 变温光谱

支持常温或低温条件下发光光谱测试,适合半导体缺陷、量子点和温度依赖发光研究。

Measurement Workflow

从显微定位到光谱成像的完整流程

通过观察相机完成样品定位,选择激发波长与采集模式,再进行点光谱、线扫描或二维 Mapping,最终输出光谱、图像和定量参数。

STEP 01
显微观察定位
通过相机实时观察样品微区
STEP 02
选择激发波长
多波长激光或超连续光源可选
STEP 03
光谱采集 / 扫描
支持点光谱、线扫、面扫 Mapping
STEP 04
数据分析导出
输出峰位、强度、FWHM 与分布图
Applications

典型应用场景

半导体缺陷与带隙表征

适用于 III-V 族半导体、氮化镓、量子点、钙钛矿等材料的缺陷、杂质、带隙和发光特性研究。

晶圆快速显微光谱成像

通过 PL 成像获取外延层晶体质量、成分均匀性和区域发光差异,适合工艺评估与缺陷定位。

发光器件与微纳结构

适用于 LED、OLED、光电探测器、微腔、纳米线、二维材料器件等局域发光与器件性能研究。

Specifications

主要配置参数

主型号RX206 多功能显微荧光系统
光谱仪焦长典型值 320 mm、550 mm、1000 mm 等可选
光谱分辨率1200 g/mm 光栅:320 mm 焦长 PMT 0.06 nm、CCD 0.18 nm;550 mm 焦长 PMT 0.025 nm、CCD 0.1 nm
光谱测试范围150 nm–25 μm,按光谱仪、光栅与探测器配置确定
激光器选配325 nm、375 nm、405 nm、488 nm、532 nm、633 nm、785 nm 等任意组合,或超连续光源
光源输出模式软件控制自由切换,支持多波长激发选择
光谱仪接口单 / 双入,单 / 双 / 三出可选
探测器可选PMT、CCD、EMCCD、IR MCT 等
研究级显微镜正置或倒置可选,可兼容主流显微镜平台
物镜10×、50×、100× 等多种数值孔径与工作距离可选
扫描成像振镜快速扫描或位移台扫描可选;位移台典型 X=75 mm、Y=50 mm,XY 最小步长 10 nm
扩展功能共聚焦多色荧光耦合、瞬态测试、电致发光、低温联用、AFM 联用等功能定制
Image Gallery

图片展示预留区

多功能显微荧光系统整机图
半导体材料光致发光光谱
量子点光致发光光谱
多功能显微荧光系统|RX206
显微荧光 · PL Mapping · 电致发光 EL · 变温光谱 · 多波长激发 · 多探测器扩展
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