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电子倍率 1000X，搭配 5X / 10X / 20X 物镜和 800 万 CCD，用于目标片层识别、转移区域观察与贴合过程监控。

样品台支持室温至 200℃ 加热，温控分辨率 0.1℃，PT100 传感器，温控稳定性 ±0.2℃，适合热释放与贴合过程控制。

样品台采用真空吸附固定，真空吸附力 0–12 L/min，适合小尺寸基底、芯片、胶膜与微纳样品在转移中的稳定放置。

样品台与载玻片端均支持 XY、Z、R 与摆角调节，XY 行程 26 mm，分辨率 0.7 μm，并支持整体 80 × 80 mm 位移。